近期，廈門市産業投資基金參股的(de)國(guó)投廈鎢基金（創合鑫材基金）投資廈門韫茂科技有限公司（以(yǐ)下簡稱“韫茂科技”），産業投資基金合作方紅杉中國(guó)作爲(wéi / wèi)老股東再次加碼。2018年，參股基金京道(dào)天琴基金在(zài)天使輪就(jiù)發掘并投資了(le／liǎo)該項目，吸引創始人(rén)王韫宇從海外回國(guó)留廈創業。

韫茂科技是(shì)一(yī / yì ／yí)家高端納米級薄膜沉積裝備制造企業，緻力于(yú)将半導體行業的(de)精密薄膜制造技術應用到(dào)新型顯示、锂電池、光伏等領域。多年來(lái)，市産業投資基金協同多家參股基金爲(wéi / wèi)企業提供資金支持，陪伴和(hé / huò)扶持企業成長，助力廈門半導體産業的(de)核心技術創新和(hé / huò)産業生态建設。

據了(le／liǎo)解，韫茂科技連續完成A+輪和(hé / huò)B輪兩輪融資，累計融資數億元，引入新股東舜宇産業基金、創合鑫材（國(guó)投創合與廈鎢産業基金）、國(guó)謙資本、長江證券下屬的(de)成長資本，利達，銀杏谷資本、禦道(dào)創投、老股東紅杉中國(guó)繼續增加了(le／liǎo)股份。這(zhè)筆融資資金将用于(yú)技術研發，加快産品規模的(de)量産。

廈門韫茂科技有限公司

廈門韫茂科技有限公司成立于(yú)2018年，公司緻力于(yú)成爲(wéi / wèi)一(yī / yì ／yí)家平台型的(de)納米級薄膜沉積裝備制造企業。公司目前已推出(chū)12款産品，産品線包括ALD原子(zǐ)層成膜系統、PVD物理氣相沉積系統、CVD化學氣相沉積系統、UHV超高真空鍍膜裝備等高端薄膜沉積設備。公司已經獲得了(le／liǎo)39項專利授權，還有幾十項專利正在(zài)審批中。原子(zǐ)層沉積（ALD）是(shì)韫茂科技的(de)核心技術之(zhī)一(yī / yì ／yí)。公司核心技術是(shì)針對3D結構材料鍍膜領域。ALD可以(yǐ)使材料以(yǐ)原子(zǐ)層爲(wéi / wèi)單位在(zài)材料表面進行生長，實現數字式的(de)高精度控制。ALD在(zài)納米級别的(de)鍍膜方面表現出(chū)色，其最大(dà)優勢是(shì)能夠填充并生長出(chū)均勻性較高的(de)三維結構。與化學氣相沉積（CVD）和(hé / huò)物理氣相沉積（PVD）相比，ALD能夠在(zài)任何位置實現均勻的(de)鍍膜。PVD因爲(wéi / wèi)受到(dào)幾何結構的(de)影響，通常隻能覆蓋面對靶材一(yī / yì ／yí)側的(de)樣品表面，适用于(yú)平面鍍膜。CVD鍍膜可以(yǐ)覆蓋各位置，但是(shì)表面各處生長沉積難以(yǐ)精準控制、鍍膜厚度并不(bù)均勻。對于(yú)具有階梯結構的(de)表面，例如凹槽、孔隙等，ALD能夠在(zài)每個(gè)層面實現接近100%的(de)均勻覆蓋。

但是(shì)ALD技術的(de)沉積速度較慢，每層的(de)生長時(shí)間較長，在(zài)工業大(dà)規模生産的(de)節拍速度面臨挑戰。韫茂科技基于(yú)團隊自身在(zài)半導體裝備行業多年的(de)技術積累，自主研發推出(chū)了(le／liǎo)新型批次型ALD裝備，突破了(le／liǎo)ALD生産速度的(de)問題，進而(ér)可以(yǐ)大(dà)幅降低生産成本。

作爲(wéi / wèi)薄膜沉積設備制造商，韫茂科技的(de)核心技術能力體現在(zài)工藝和(hé / huò)硬件設計兩方面。在(zài)工藝方面，公司注重把控工藝過程、化學反應的(de)最優參數。硬件設計方面則包括機械、自動化、電氣、軟件以(yǐ)及安全的(de)設計能力。公司也(yě)通過虛拟仿真技術，從氣流、氣壓、真空、溫度、等離子(zǐ)體等多個(gè)維度對裝備進行系統性的(de)研發設計。

創新薄膜沉積技術應用領域，拓展新型顯示、光伏、锂電等泛半導體領域，實現小批量出(chū)貨

在(zài)下一(yī / yì ／yí)代高清面闆及VR/AR頭顯領域，特别是(shì)Micro OLED、Micro LED、Mini LED等新型顯示屏量産方面，ALD薄膜沉積技術至關重要(yào / yāo)。

公司的(de)ALD薄膜沉積技術可以(yǐ)爲(wéi / wèi)下一(yī / yì ／yí)代背光及直顯芯片實現超薄、均勻的(de)保護薄膜沉積，提供封裝保護，使其具備良好的(de)阻水阻氧等防護能力。

公司研發的(de)新型批次型CBATCH ALD裝備可以(yǐ)批量處理新一(yī / yì ／yí)代屏幕顯示産品。其産能是(shì)同類裝備産品的(de)數倍，大(dà)幅降低客戶COO。這(zhè)将有力推動Mini/Micro LED/OLED行業實現量産突破，最終降低終端客戶使用成本。

目前，公司CBATCH ALD創新的(de)架構設計已獲十幾項專利授權，已成功進入國(guó)内頭部光電芯片公司供應鏈，實現了(le／liǎo)小批量出(chū)貨，後續将進入批量出(chū)貨階段。另外，公司自主知識産權的(de)粉末ALD已導入多家頭部客戶。

瞄準新興市場高端精密制造需求，推進産品技術平台化

綜合來(lái)看，韫茂科技是(shì)将半導體行業的(de)精密薄膜制造技術運用到(dào)新型顯示、锂電、光伏、功率器件等領域，特别是(shì)針對能源領域産品和(hé / huò)功率器件的(de)精密生産制造。相較于(yú)半導體行業已經進展到(dào)幾納米的(de)制造精度，目前泛半導體領域的(de)制造精度有很大(dà)提升空間。

随着锂電、光伏行業近年來(lái)對産品性能的(de)要(yào / yāo)求不(bù)斷提升，電池企業、組件企業都希望将半導體領域的(de)制造工藝技術運用到(dào)自身生産制造過程之(zhī)中，形成更加精細化、甚至是(shì)參數化的(de)制造控制。

韫茂科技看到(dào)了(le／liǎo)薄膜沉積技術在(zài)上(shàng)述領域的(de)應用前景，并圍繞不(bù)同應用行業和(hé / huò)場景開發了(le／liǎo)一(yī / yì ／yí)系列的(de)PVD、CVD、ALD裝備産品，并通過研制出(chū)批次型的(de)ALD裝備實現技術創新突破。

從市場層面來(lái)看，一(yī / yì ／yí)方面在(zài)傳統半導體領域中國(guó)薄膜沉積設備國(guó)産化率僅有5%，95%依賴進口，存在(zài)國(guó)産替代的(de)巨大(dà)空間。未來(lái)公司在(zài)12寸半導體布局，爲(wéi / wèi)國(guó)産半導體提供高質量的(de)鍍膜解決方案。

另一(yī / yì ／yí)方面在(zài)锂電、光伏、新一(yī / yì ／yí)代面闆及頭顯、第三代半導體等新興領域，薄膜沉積裝備企業與國(guó)外裝備企業處于(yú)同一(yī / yì ／yí)起跑線，國(guó)内企業的(de)技術水平更高、産品性能更好、叠代速度更快。

公司創始人(rén)王韫宇表示，公司目标是(shì)成爲(wéi / wèi)一(yī / yì ／yí)家平台型薄膜沉積裝備制造企業，圍繞自身核心技術，在(zài)産品架構上(shàng)更加多元化。這(zhè)一(yī / yì ／yí)點不(bù)同于(yú)其他(tā)垂直于(yú)細分領域的(de)裝備企業，這(zhè)也(yě)有賴于(yú)公司團隊在(zài)産品研發方面的(de)技術積累。

團隊方面，該公司核心團隊成員爲(wéi / wèi)來(lái)自美國(guó)矽谷半導體設備公司的(de)海歸人(rén)才，包括斯坦福大(dà)學博士，在(zài)半導體設備領域擁有近20年工作經驗。

創合鑫材投資團隊表示：“薄膜沉積設備作爲(wéi / wèi)半導體、先進顯示、新能源等領域必備的(de)工藝設備，有廣闊的(de)市場空間和(hé / huò)良好的(de)發展契機。韫茂團隊深耕行業多年，掌握精密薄膜制備技術，多領域産品已實現量産并獲得客戶認可。未來(lái)，韫茂将與上(shàng)下遊夥伴共同開拓市場，我們希望發揮創合鑫材在(zài)新材料和(hé / huò)高端裝備領域深耕的(de)優勢，爲(wéi / wèi)韫茂在(zài)産業鏈上(shàng)下遊賦能，見證企業進一(yī / yì ／yí)步發展壯大(dà)。”

來(lái)源：36氪

國(guó)投廈鎢基金（創合鑫材基金）

國(guó)投廈鎢基金（創合鑫材基金）由廈門本地(dì / de)上(shàng)市公司廈門鎢業聯合國(guó)家級政府引導基金管理機構國(guó)投創合共同發起設立，主要(yào / yāo)出(chū)資方包括國(guó)家制造業轉型升級基金、軍民融合發展産業投資、廈門市産業引導基金。基金總規模50億，主要(yào / yāo)以(yǐ)股權投資方式投資于(yú)新材料領域，聚焦鎢钼、稀土和(hé / huò)新能源材料及上(shàng)下遊，已投恒坤新材、雅迅網絡、中創新航等掌握關鍵核心技術的(de)創新型企業。

京道(dào)天琴基金

參股基金京道(dào)天琴基金由廈門本土投資機構京道(dào)基金與繼祥實業共同發起設立。主要(yào / yāo)出(chū)資方包括市産業引導基金、集美區産業引導基金及專業的(de)社會投資人(rén)，基金規模3.14億元，主要(yào / yāo)投資于(yú)軟件信息、節能環保、新能源等國(guó)家新興戰略産業。已投資堅瑞沃能、好慷信息、韫茂科技、至恒融興等創新型企業。